半导体材料可分为单质半导体及化合物半导体两类,前者如硅(Si)、锗(Ge)等所形成 的半导体,后者为砷化镓(GaAs)、氮化镓(GaN)、碳化硅(SiC)等化合物形成。半导 体在过去主要经历了三代变化。砷化镓(GaAs)、 氮化镓(GaN)和碳化硅(SiC)半导体分别作为第二代和第三代半导体的代表,相比第一代半导体高频性能、高温性能优 异很多,制造成本也更为高昂。