稀土抛光粉是一种非常精细的氧化物，具有在抛光过程中去除表面缺陷并产生光滑表面的能力。粗糙的抛光粉不适合使用，一定要磨到不划伤表面的细度。较好的方法是使草酸盐、碳酸或氢氧化物沉淀，然后煅烧成氧化物。煅烧温度刚好足以分解沉淀物，同时防止烧结和晶体的快速生长。煅烧后，通常进行第二次研磨和煅烧。

要制备较为好高效的稀土抛光粉，关键是在制备过程中选择合适的中间体和合理的工艺条件，改善稀土抛光粉的理化性能。原料为氟碳铈矿和稀土氢氧化物(富含铈)，稀土盐类有氯化稀土、草酸稀土、碳酸稀土等。

从制备技术上看，可分为两类：

一类是以稀土精矿为原料的固相反应法；从矿石中直接制备抛光粉，可以省去复杂的化学提取过程，降低生产成本。比如以氟碳铈矿为原料，先煅烧再研磨，可以得到较好的抛光粉。矿石中的氟和硅对保证产品的抛光效果起着重要作用。

二是以稀土可溶性盐为原料的沉淀-煅烧法。在沉淀法中，有很多种方式，通过掺入化学成分来提高抛光性能比较合适，如添加氟硅酸共沉淀抛光粉，添加硅含量高的硅灰石抛光粉等。这些工艺和产品在60年代和70年代发展良好。然后开发了一些含氟、硅等元素的产品。

从20世纪80年代到90年代，除了一些零星的报道外，还停留在稀土精矿的制备过程中，这方面的工作做得很少。主要产品是低抛光，高抛光产量小。这种抛光粉在制备技术和市场上都是成熟的。但是，与国外相比，抛光粉的生产还有很大差距，特别是90年发的聚氨酯高速抛光粉。国内大多数抛光粉产品不能满足其应用要求。为了保证抛光质量，大多数企业采用进口抛光粉。另外，新近出现的附壁效应在稀抛光粉技术的精密气流分级中的应用报道较少。